Teilnahme an der Semicon China, der internationalen Fachmesse für die Halbleiterindustrie
Die Shimadzu Group Company Shimadzu (China) Co., Ltd. (SSL) betrieb einen Stand auf der Semicon China, einer der weltweit größten internationalen Ausstellungen für Halbleiter, wo sie Shimadzu-Vakuumtechnologien, Analysetechnologien und verschiedene Produkte vorstellte, die zur Halbleiterfertigung beitragen.
Shimadzu-Stand auf der Semicon China 2026 (25. bis 27. März)
Die Semicon China ist eine jährlich stattfindende Fachmesse, auf der Geräte, Ausrüstungen und andere Produkte für alle Phasen der Halbleiterfertigung zusammenkommen. Sie findet jedes Jahr im Shanghai New International Expo Centre in Shanghai, China, statt. In diesem Jahr gab es rund 1.500 Aussteller und 200.000 Besucher. Während der Messezeit fanden über 20 Vorträge und weitere Veranstaltungen statt.
Unterstützung vieler Prozesse in Halbleiterfertigungsanlagen
Zu den am Shimadzu-Stand ausgestellten Geräten gehörten eine Turbomolekularpumpe (TMP-2814) und ein Lecksuchgerät (Serie MSE-2600) zur Erzeugung eines Vakuums in Halbleiterfertigungsanlagen, ein Online-TOC-Analysator (TOC-1000e S) zur Überwachung von Verunreinigungen in Reinstwasser für Waschprozesse sowie ein Gaschromatographie-Massenspektrometer-System (GCMS-QP2020 NX) für die Qualitätskontrolle. Zahlreiche Besucher sorgten am Stand für eine lebhafte Atmosphäre mit angeregten Geschäftsgesprächen und Beratungen.
GCMS-QP2020 NX (links), TMP-2814 (Mitte links), MSE-2600-Serie (Mitte rechts) und TOC-1000e S (rechts) wurden am Stand von Shimadzu ausgestellt.
Im Rahmen der Ausstellung lud Shimadzu Experten der Halbleiterindustrie und Vertreter relevanter Unternehmen zu einem Seminar über Lösungstechnologien für die Halbleiterindustrie sowie zur Produkteinführung des neuen Online-TOC-Analysators TOC-1000e S ein. Es wurden außerdem detaillierte Präsentationen zu Shimadzu-Lösungen für den gesamten Halbleiterfertigungsprozess gehalten, darunter Industrieanlagen wie Turbomolekularpumpen (TMPs) und Messgeräte wie TOC-Analysatoren. Darüber hinaus fand ein reger Meinungsaustausch über technische Innovationen und Fortschritte in der Halbleiterindustrie statt.
Shimadzu TMPs mit führendem globalen Marktanteil
Thermomagnetische Vakuumpumpen (TMPs) erzeugen ein Hochvakuum, indem sie schnell rotierende Rotorblätter nutzen, um einströmende Gasmoleküle durch den Einlass abzustoßen und durch den Auslass auszustoßen. Solche Vakuumatmosphären sind für Anlagen zur Halbleiterfertigung unerlässlich, beispielsweise für Ätzprozesse zur Erzeugung detaillierter Strukturen in Halbleitern.
TOC-1000e S TOC-Analysator, speziell entwickelt für die Online-Überwachung von Reinstwasser
Der Online-TOC-Analysator TOC-1000e S für Reinstwasser ist ein Analysegerät zur Messung organischer Verunreinigungen in Wasser als Gesamtgehalt an organischem Kohlenstoff (TOC). In der Halbleiterfertigung werden Siliziumwafer wiederholt gewaschen, und in vielen Prozessschritten, wie Ätzen und Polieren, werden große Mengen Wasser verwendet. Wird nicht Reinstwasser verwendet, aus dem Verunreinigungen weitestgehend entfernt wurden, können Leiterbahnfehler und geringere Ausbeuten die Folge sein.
Der TOC-1000e S wurde im Beisein von Experten der Halbleiterindustrie und Vertretern verwandter Unternehmen vorgestellt.
Aufgrund der fortschreitenden Miniaturisierung von Halbleitern in den letzten Jahren sind die Anforderungen an die Reinheit des Reinigungswassers deutlich gestiegen. Shimadzu hat das neue Modell TOC-1000e S auf den Markt gebracht, das mit einem einzigartigen Messalgorithmus eine höhere Empfindlichkeit ermöglicht. Es misst zuverlässig Reinstwasser mit TOC-Konzentrationen von 1 ppb oder weniger und erfüllt damit die strengen Wasserqualitätsanforderungen der Halbleiterindustrie. Seine hohe Detektionsfähigkeit und Reaktionsgeschwindigkeit wecken große Erwartungen, dass es wesentlich zur Steigerung der Ausbeute in Fertigungsprozessen beitragen wird.
Die TOC-Analysatoren von Shimadzu werden seit Langem nicht nur in der Halbleiterindustrie, sondern auch für Umweltanalysen, Abwasserüberwachung und die Qualitätskontrolle von Leitungswasser und Wasser für die pharmazeutische Produktion eingesetzt. Shimadzu wird mit den über viele Jahre entwickelten Technologien auch künftig einen noch größeren Beitrag zu zukunftsweisenden Halbleiterfertigungsprozessen leisten.
SSL-Mitarbeiter, die für den Shimadzu-Stand auf der Semicon China 2026 zuständig sind
Kommentar von Jianwei Cai bei SSL
Die Semicon China deckt die gesamte Wertschöpfungskette der Halbleiterindustrie ab, von Halbleiterdesign, -fertigung, -montage und -prüfung über Fertigungsanlagen und Materialien bis hin zu Solarenergieerzeugung und Displaytechnologien. Zahlreiche chinesische Halbleiteranlagenhersteller stellten vor Ort aus, und auch Unternehmen aus Japan, Korea, der Schweiz und anderen Ländern nahmen teil.
Chinas Einfluss auf die Branche wächst aufgrund seiner enormen Produktionskapazitäten und seines riesigen Marktes. Auch die Nachfrage nach in China hergestellten Halbleiterfertigungsanlagen steigt rasant. Zudem erweitert die künstliche Intelligenz (KI) den Markt der Halbleiterindustrie, eröffnet bedeutende Geschäftsmöglichkeiten und führt zu einem intensiven Wettbewerb. Vor diesem Hintergrund wollen wir schnell auf Marktchancen reagieren und gleichzeitig unsere Wettbewerbsvorteile klar herausstellen.
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