参加中国国际半导体产业展览会

岛津集团旗下公司岛津企业管理(中国)有限公司（SSL）在中国国际半导体展（Semicon China）上设立展位，该展位是全球最大的半导体相关国际展览会之一。在展位上，岛津介绍了其真空技术、分析技术以及各种有助于半导体制造的产品。

岛津公司在2026年中国国际半导体展（3月25日至27日）的展位

中国国际半导体展（Semicon China）是一年一度的半导体制造全过程相关器件、设备及其他产品的展览会，每年在中国上海新国际博览中心举办。今年，展会吸引了约1500家参展商和20万名观众。展会期间还举办了20余场专题研讨会及其他活动。

支持半导体制造设备中的多种工艺

岛津展位展出的设备包括用于在半导体制造设备内部创建真空环境涡轮分子泵（TMP-2814）和检漏仪（MSE-2600系列）、用于监测清洗工艺所需超纯水中污染物的在线总有机碳分析仪（TOC-1000e S）以及用于质量控制的气相色谱质谱联用仪（GCMS-QP2020 NX）。众多参观者在展位前进行了热烈的洽谈和咨询，营造了活跃的氛围。

岛津展位上展出的仪器包括：GCMS-QP2020 NX（左）、TMP-2814（左中）、MSE-2600系列（右中）和TOC-1000e S（右）。

展会期间，岛津邀请半导体行业专家和相关企业代表参加了半导体行业解决方案技术研讨会和新型TOC-1000e S在线TOC分析仪发布会。会上，岛津详细介绍了其针对整个半导体制造流程的解决方案，涵盖了包括涡轮分子泵（TMP）等工业设备以及TOC分析仪等测量仪器在内的各种产品。与会者还就半导体行业的技术创新和发展进行了积极的交流。

岛津TMP产品在全球市场份额领先

TMP（热机械泵）利用高速旋转的转子叶片产生高真空，将通过入口进入的气体分子排斥并排出。这种真空环境对于半导体制造设备至关重要，例如用于在半导体中形成精细结构的蚀刻工艺。

TOC-1000e S 型 TOC 分析仪专为超纯水在线监测而设计

TOC-1000e S 超纯水在线总有机碳分析仪是一款用于测量水中总有机碳含量的分析仪器。半导体制造过程中，硅片需要反复清洗，并且在许多工艺步骤（例如蚀刻和抛光）中都需要使用大量的水。如果使用杂质已被完全去除的超纯水，则可能导致电路图案缺陷和良率降低。

TOC-1000e S 在半导体行业专家和相关公司代表的见证下正式发布。

近年来，随着半导体器件小型化程度的不断提高，对清洗水纯度的要求也日益严格。岛津发布了新型TOC-1000e S型号水质分析仪，该仪器采用独特的测量算法，实现了更高灵敏度的检测。它能够稳定测量TOC浓度低于1 ppb的超纯水，满足半导体行业严苛的水质要求。其卓越的检测能力和响应速度，使其有望显著提升半导体制造工艺的良率。

岛津TOC分析仪不仅长期应用于半导体领域，还广泛应用于环境检测、废水监测以及自来水和制药用水的质量控制。岛津将继续凭借多年积累的技术，为尖端半导体制造工艺做出更大贡献。

SSL人员负责2026年中国国际半导体展（Semicon China 2026）岛津展位的运营。

SSL的蔡建伟评论