Nachricht

TOC-1000e S Online-TOC-Analysator für Reinstwasser

Am 28. November brachte die Shimadzu Corporation den Online-TOC-Analysator TOC-1000e S zur Überwachung von Reinstwasser auf den Markt, der in der Halbleiterfertigung unerlässlich ist. Das Produkt nutzt einen einzigartigen Messalgorithmus, um stabile TOC-Konzentrationen unter 1 µg/L zu messen, was für Halbleiterfertigungsprozesse erforderlich ist. Insbesondere die hohe Nachweisempfindlichkeit und die Empfindlichkeit gegenüber schwer oxidierbaren Verbindungen wie Harnstoff, die in modernen Halbleiterfertigungsprozessen benötigt werden, tragen maßgeblich zur Steigerung der Ausbeute bei.

TOC-Analysatoren (Total Organic Carbon) messen den Gehalt an organischem Kohlenstoff in Wasser. Sie werden häufig für die Reinstwasseraufbereitung in der Halbleiterfertigung, die Umweltüberwachung und die Abwasseranalyse in der Industrie eingesetzt. TOC-Analysatoren der Marke Shimadzu genießen einen hervorragenden Ruf – sowohl als Laborgeräte, beispielsweise zur Qualitätskontrolle von Trink- oder pharmazeutischem Wasser, als auch als Online-Geräte, etwa zur Überwachung der Qualität von Abwasser oder Umweltgewässern.

Für die Halbleiterfertigung ist Reinstwasser, aus dem nahezu alle Verunreinigungen entfernt wurden, unerlässlich. Beim Spülen von Siliziumwafern mit großen Wassermengen während der Ätz- und Polierprozesse können selbst geringste Spuren von Verunreinigungen im Wasser zu Leiterbahnfehlern führen oder die Ausbeute verringern. Mit der zunehmenden Miniaturisierung von Halbleitern steigen die Reinheitsanforderungen an das Spülwasser, und die Anforderungen an die Nachweisbarkeit schwer oxidierbarer Verbindungen nehmen zu.

Das TOC-1000e S detektiert Harnstoff und andere schwer oxidierbare Verbindungen mit hoher Empfindlichkeit durch Bestrahlung der Proben mit hochenergetischem, kurzwelligem Licht einer Excimerlampe mit Active-Path-Struktur ^*. Es bietet hohe Empfindlichkeit und einfache Bedienung und behält dabei die bewährten Eigenschaften der Vorgängerserie bei: kompakte Größe, geringes Gewicht und Benutzerfreundlichkeit. Shimadzu wird auch zukünftig eine Vielzahl von Produkten und Technologien für die Halbleiterfertigung anbieten.

• * Das einzigartige Design von Shimadzu integriert den Probenflussweg in die Lichtquelle, um eine effiziente UV-Bestrahlung der Proben zu ermöglichen.

Merkmale

1. Erkennt schwer oxidierbare Verbindungen mit hoher Empfindlichkeit

Dank Shimadzus patentierter Excimerlampentechnologie mit Active-Path-Struktur kann das TOC-1000e S Harnstoff und andere konventionell schwer oxidierbare organische Substanzen mit hoher Empfindlichkeit nachweisen. Es ermöglicht die Echtzeitüberwachung von Faktoren, die die Ausbeute in der Halbleiterfertigung mindern.

2. Erkennt Verunreinigungen mit hoher Empfindlichkeit

Das Gerät zeichnet sich durch ein einfaches Design aus, bei dem die Lampe in Reihe mit einem Leitfähigkeitsmessgerät geschaltet ist. Es misst kontinuierlich einen Teil des Probenwassers über den Messkanal. Durch die sofortige Erkennung von Verunreinigungen im Reinstwasser trägt es dazu bei, Produktfehler zu vermeiden.

3. Behält das erstklassige, kompakte und leichte Gehäuse sowie die einfache Bedienung bei.

Mit einem Gewicht von nur ca. 3 kg lässt sich das Gerät dank seiner kompakten und leichten Bauweise problemlos an Tischen, Wänden oder Rohren montieren. Es verfügt über ein Touchpanel für intuitive Bedienung, ist ein Jahr lang wartungsfrei und ermöglicht den werkzeuglosen Teileaustausch, was die Benutzerfreundlichkeit deutlich reduziert.

Weitere Details finden Sie unter
TOC-1000e S

Verwandter Link
Halbleiter: Analytische und Messgeräte (Analysesysteme), Shimadzu Corporation