Grabado y deposición
El grabado y la deposición son esenciales para formar patrones de circuitos de paso fino en obleas. En la fabricación de semiconductores, estos pasos se repiten de forma alternada para formar estructuras de circuitos de múltiples capas y de paso fino.
Presentamos varios ejemplos de análisis de gases y análisis de películas delgadas que se utilizan en los procesos de grabado y deposición.
