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Analyseur de COT en ligne TOC-1000e S pour eau ultrapure

Le 28 novembre, Shimadzu Corporation a lancé à l'échelle mondiale l'analyseur de COT en ligne TOC-1000e S, destiné au contrôle de l'eau ultrapure, un élément essentiel à la fabrication de semi-conducteurs. Ce produit utilise un algorithme de mesure unique pour garantir une mesure stable des concentrations de COT inférieures à 1 µg/L, une condition indispensable aux procédés de fabrication de semi-conducteurs. En particulier, sa haute capacité de détection et sa réactivité aux composés difficilement oxydables tels que l'urée, nécessaires aux procédés de fabrication de semi-conducteurs de pointe, contribuent significativement à l'amélioration du rendement.

Les analyseurs de carbone organique total (COT) sont des instruments qui mesurent la quantité de carbone organique contenue dans l'eau. Ils sont largement utilisés pour la gestion de l'eau ultrapure dans la fabrication de semi-conducteurs, la surveillance environnementale et le traitement des eaux usées industrielles. Les analyseurs de COT de marque Shimadzu jouissent d'une excellente réputation, tant comme instruments de laboratoire (contrôle qualité de l'eau potable ou de l'eau pharmaceutique, par exemple) que comme instruments en ligne (surveillance de la qualité des effluents ou des eaux environnementales, par exemple).

L'eau ultrapure, quasiment exempte d'impuretés, est essentielle à la fabrication des semi-conducteurs. Lors du rinçage des plaquettes de silicium par de grands volumes d'eau pendant les opérations de gravure et de polissage, même des traces d'impuretés peuvent engendrer des défauts de circuit ou réduire le rendement. Avec la miniaturisation croissante des semi-conducteurs, les exigences de pureté de l'eau de rinçage se durcissent et la nécessité de détecter les composés difficilement oxydables s'accroît.

Le TOC-1000e S détecte l'urée et d'autres composés difficilement oxydables avec une grande sensibilité grâce à l'irradiation des échantillons par une lumière à ondes courtes de haute énergie émise par une lampe excimère dotée de la structure Active-Path ^*. Il offre à la fois une sensibilité élevée et une utilisation simplifiée, tout en conservant les atouts de la série précédente : format compact, poids léger et facilité d'utilisation. Shimadzu continuera de proposer une gamme complète de produits et de technologies pour la fabrication de semi-conducteurs.

• * La conception unique de Shimadzu intègre le circuit d'écoulement de l'échantillon à la source lumineuse pour une irradiation UV efficace des échantillons.

Caractéristiques

1. Détecte les composés difficiles à oxyder avec une grande sensibilité

Grâce à la technologie exclusive de lampe à excimères de Shimadzu, dotée d'une structure à chemin actif, le TOC-1000e S détecte avec une grande sensibilité l'urée et d'autres substances organiques difficilement oxydables. Il permet ainsi une surveillance en temps réel des facteurs qui réduisent le rendement de la fabrication des semi-conducteurs.

2. Détecte les impuretés avec une grande sensibilité

Doté d'une conception simple qui relie la lampe en série à un conductimètre, cet instrument mesure en continu une partie de l'échantillon d'eau via le canal de mesure. En détectant immédiatement toute impureté dans l'eau ultrapure, il contribue à prévenir les défauts de fabrication.

3. Conserve son format compact et léger de classe mondiale ainsi que sa facilité d'utilisation.

Pesant seulement 3 kg environ, sa conception compacte et légère permet une installation facile sur une table, un mur ou un tuyau. Il est doté d'un panneau tactile pour une utilisation intuitive, d'une conception sans entretien pendant un an et d'un remplacement des pièces sans outil pour simplifier la vie des utilisateurs.

Pour plus de détails, consultez
TOC-1000e S

Lien associé
Semiconducteurs : Instruments d'analyse et de mesure (Systèmes d'analyse), Shimadzu Corporation