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TOC-1000e S Analisador de TOC On-Line para Água Ultrapura

Em 28 de novembro, Shimadzu Corporation lançou globalmente o analisador de TOC on-line TOC-1000e S para monitoramento de água ultrapura, essencial na fabricação de semicondutores. Este produto utiliza um algoritmo de medição exclusivo para alcançar medições estáveis de concentrações de TOC abaixo de 1 μg/L, requisito fundamental para os processos de fabricação de semicondutores. Em particular, a alta capacidade de detecção e a responsividade a compostos de difícil oxidação, como a ureia, necessários nos processos de fabricação de semicondutores de última geração, contribuem significativamente para o aumento do rendimento no processo produtivo.

Os analisadores de carbono orgânico total (COT) são instrumentos que medem a quantidade de carbono orgânico presente na água. São amplamente utilizados no gerenciamento de água ultrapura na fabricação de semicondutores, no monitoramento ambiental e no tratamento de efluentes industriais. Os analisadores de COT da marca Shimadzu conquistaram uma sólida reputação tanto como instrumentos de laboratório, para controle de qualidade de água potável ou água farmacêutica, quanto como instrumentos on-line, para monitoramento da qualidade de efluentes ou águas ambientais.

Água ultrapura, praticamente livre de impurezas, é essencial para a fabricação de semicondutores. Ao utilizar grandes volumes de água para enxaguar wafers de silício durante os processos de corrosão e polimento, mesmo traços de impurezas na água podem causar defeitos nos circuitos ou reduzir o rendimento. Com a crescente miniaturização dos semicondutores, os requisitos de pureza da água de enxágue tornam-se mais rigorosos e a demanda por detecção de compostos de difícil oxidação aumenta.

O TOC-1000e S pode detectar ureia e outros compostos de difícil oxidação com alta sensibilidade, irradiando amostras com luz de ondas curtas de alta energia emitida por uma lâmpada de excímero com estrutura Active-Path ^*. Ele oferece alta sensibilidade e operação simplificada, mantendo o tamanho compacto, o peso leve e a facilidade de uso característicos da série anterior. Shimadzu continuará a fornecer uma variedade de produtos e tecnologias para a fabricação de semicondutores.

• * O design exclusivo da Shimadzu integra o fluxo da amostra à fonte de luz para uma irradiação UV eficiente das amostras.

Características

1. Detecta compostos de difícil oxidação com alta sensibilidade.

Graças à tecnologia proprietária de lâmpada de excímero da Shimadzu com estrutura Active-Path, o TOC-1000e S consegue detectar ureia e outras substâncias orgânicas convencionalmente difíceis de oxidar com alta sensibilidade. Isso permite o monitoramento em tempo real de fatores que reduzem o rendimento da fabricação de semicondutores.

2. Detecta impurezas com alta sensibilidade.

Com um design simples que conecta a lâmpada em série a um medidor de condutividade, o instrumento mede continuamente uma porção da amostra de água através do canal de medição. Ao detectar imediatamente quaisquer impurezas que entrem na água ultrapura, ele pode ajudar a prevenir defeitos no produto.

3. Mantém o design compacto e leve de classe mundial, além da facilidade de uso.

Pesando apenas cerca de 3 kg, seu design compacto e leve permite fácil instalação em mesas, paredes ou tubulações. Possui um painel sensível ao toque para operação intuitiva, um design que dispensa manutenção por um ano e substituição de peças sem ferramentas, reduzindo o esforço do usuário.

Para obter mais detalhes, visite
TOC-1000e S

Link relacionado
Semicondutores: Instrumentos Analíticos e de Medição (Sistemas de Análise), Shimadzu Corporation