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TOC-1000e S 超纯水在线TOC分析仪

11月28日，岛津制作所面向全球发布了用于监测半导体制造关键环节——超纯水的TOC-1000e S在线TOC分析仪。该产品采用独特的测量算法，可稳定测量低于1μg/L的TOC浓度，满足半导体制造工艺的要求。尤其值得一提的是，该产品对尿素等难氧化化合物的高检测能力和响应速度，对于尖端半导体制造工艺至关重要，能够显著提高制造良率。

总有机碳 (TOC) 分析仪是用于测量水中有机碳含量的仪器。TOC 分析仪广泛应用于半导体制造中的超纯水管理、环境监测和工业废水监测。岛津品牌的 TOC 分析仪在实验室应用（例如用于饮用水或制药用水的质量控制）和在线应用（例如用于监测废水或环境水质）方面都享有盛誉。

超纯水几乎去除了所有杂质，是半导体制造的必需品。在蚀刻和抛光过程中，使用大量水冲洗硅片时，即使水中含有微量杂质也会导致电路图案缺陷或降低良率。随着半导体器件小型化程度的不断提高，对冲洗水纯度的要求也越来越严格，对难氧化化合物的检测能力要求也随之提高。

TOC-1000e S 能够利用具有主动光路结构的准分子灯^*发射的高能短波光照射样品，从而高灵敏度地检测尿素和其他难氧化化合物。它在保持前代产品广受欢迎的小巧尺寸、轻便重量和易用性的同时，兼具高灵敏度和更简便的操作。岛津将继续为半导体制造行业提供各种产品和技术。

• * 岛津的独特设计将样品流动路径集成到光源中，从而有效地对样品进行紫外照射。

特点

1. 能高灵敏度地检测难氧化化合物

由于采用了岛津公司独有的具有主动路径结构的准分子灯技术，TOC-1000e S 能够高灵敏度地检测尿素和其他通常难以氧化的有机物质。它能够实时监测影响半导体制造良率的因素。

2. 检测杂质灵敏度高

该仪器设计简洁，将灯管与电导率仪串联，通过测量通道连续测量一部分样品水。它能立即检测出进入超纯水中的任何杂质，从而有助于防止产品缺陷。

3. 保持了世界一流的紧凑轻巧机身和易用性

这款产品重量仅约3公斤，设计紧凑轻巧，可轻松安装在桌面、墙壁或管道上。它配备触摸面板，操作直观便捷，一年免维护，且无需工具即可更换部件，大大减轻了用户的负担。

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TOC-1000e S

相关链接
半导体：分析测试仪器（分析系统），岛津制作所